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2)样品处理:当心!有些样品,气枪一吹就不见啦!有些样品一遇水就溶化啦!有些样品(如镭射孔里的杂质),磨切片和抛光太野蛮,会磨掉!用超声波水洗,干膜会变形!看IMC时(特别是Sn-Cu),抛光不好会引起铜污染导致界面模糊!一个理想的微切片应该在胶和样品之间无裂隙和孔洞,否则其中隐藏的污物会在SEM真空环境下逃逸出来污染样品!因此,当碰到重要样品时,请用中央实验室的慢干胶来灌胶,不要指望PE或QA用快干胶做的微切片!当把软板固定于SEM样品台时太大力,软板上就会出现裂纹!
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