这完全取决于操作员想要执行的分析类型。例如,如果操作员想获取样品的表面信息,如粗糙度或污染物检测,则应选择扫描电镜(SEM)。另一方面,如果操作员想知道样品的晶体结构是什么,或者想寻找可能存在的结构缺陷或杂质,那么使用透射电镜(TEM)是*的方法。
这完全取决于操作员想要执行的分析类型。例如,如果操作员想获取样品的表面信息,如粗糙度或污染物检测,则应选择扫描电镜(SEM)。另一方面,如果操作员想知道样品的晶体结构是什么,或者想寻找可能存在的结构缺陷或杂质,那么使用透射电镜(TEM)是唯一的方法。
使用非晶硅材料有助于实现小至1nm的晶体管。然而,正如台积电研究人员坦言,在未来几年内还不太可能导入使用于1nm制程节点。然而,为了实现1nm制程几何结构寻找合适晶体管结构与材料的任务本身已是一项令人振奋的进展。
但是大多数块状材料是多晶体的,包含多个以随机方向生长的晶体。在一个晶体与另一个晶体相遇的地方,"晶界"就像一个电障。任何流经一个晶体的电子在遇到一个不同方向的晶体时突然停止,从而抑制了材料的导电性。即使在剥离二维薄片后,研究人员也必须在薄片上寻找"单晶"区域--这是一个繁琐而耗时的过程,很难在工业规模上应用。
当下,电子器件正朝着更加节能化和小型化的方向发展,市场对于更小体积晶体管的需求尤为迫切。为此,科学家也一直在寻找新的材料和新的光刻方法。